Решења за ласерско чишћење за индустрију полупроводника

Како полупроводничка технологија наставља да се смањује, напредни уређаји са интегрисаним колом су се трансформисали из равних у тродимензионалне структуре. Процес производње интегрисаних кола постаје све сложенији и често захтева стотине или чак хиљаде корака процеса. За напредну производњу полупроводничких уређаја, након сваког процеса, на површини силицијумске плочице биће више или мање честица загађивача, остатака метала или органских остатака. Континуирано смањење величине карактеристика уређаја и све већа сложеност тродимензионалних структура уређаја учинили су да полупроводнички уређаји постају све осетљивији на контаминацију честицама, концентрацију нечистоћа и количину.

За технологију чишћења контаминираних честица на површини маске силицијумских плочица постављени су виши захтеви. Кључна ствар је да се превазиђе огромна сила адсорпције између контаминираних честица и супстрата. Тренутно, многи произвођачи полупроводника користе методе чишћења киселинама. Прање и ручно брисање нису само неефикасни, већ производе и секундарно загађење. Дакле, који начин чишћења је тренутно погоднији за чишћење полупроводничких производа? Ласерско чишћење је тренутно прикладнији метод. Када ласер скенира преко, сва прљавштина са површине материјала ће бити уклоњена, а прљавштина у празнинама ће бити уклоњена. Може се лако уклонити, неће огребати површину материјала и неће узроковати секундарно загађење. То је сигуран избор.

Поред тога, како се величина уређаја интегрисаног кола наставља да се смањује, губитак материјала и храпавост површине током процеса чишћења постали су проблеми на које се мора обратити пажња. Уклањање честица без губитка материјала и оштећења узорка је најосновнији захтев. Технологија ласерског чишћења има јединствен контакт, нема термичког ефекта, нема површинских оштећења на објекту који се чисти и нема секундарног загађења, што су неупоредиве предности традиционалних метода чишћења. То је најбољи начин чишћења за решавање загађења полупроводничких уређаја.